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PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之六-化学稳定性:
(1)耐化学腐蚀:
Ø 抵抗切割冷却液(如水、乙醇)的侵蚀,防止基膜溶胀或胶层失效。
(2)低吸湿性:
Ø 吸湿率<0.1%,避免水分影响胶带粘性或导致芯片氧化。