PKG切割的核心质量指标与检测方法

评估 PKG 切割质量好坏的指标涉及外观、尺寸、电气和可靠性多个维度。第一是毛刺尺寸(Burr Size):这是最直观的切割质量指标,通常以 X 方向(水平)和 Z 方向(垂直)的毛刺延伸长度来衡量,行业一般要求控制在 40 微米以下,高端应用可能要求低于 25 微米甚至更严。第二是崩边/碎裂(Chipping):切割边缘的塑封体或基板材料出现的缺口,过大的崩边不仅影响外观,还可能暴露内部电路或导致水汽侵入。

第三是分层(Delamination):基板类封装在切割后需通过 SAT(超声波扫描)检测封装内部各层材料界面是否出现了分离。第四是切割精度(Dicing Accuracy):切割道相对于设计位置的实际偏移量,直接影响芯片的最终外形尺寸和引脚成型精度。第五是碎屑残留(Debris):切割过程中产生的粉末和碎屑是否完全被清洗干净,残留物可能在后段工艺中造成短路或焊接不良。

检测手段包括高倍光学显微镜、激光共聚焦显微镜(用于 3D 毛刺测量)、X-ray 检测和超声波扫描等。部分先进产线已引入 AOI(自动光学检测)设备实现在线全检。


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