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PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之五

PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之五-光学性能(针对UV胶带):


1)UV透光率:

Ø PO基膜需对紫外线(如365nm波长)透光率>90%,确保UV光充分触发胶层固化反应。


2)低紫外线散射:

Ø 基膜内部需无气泡或杂质,避免UV光散射导致胶层固化不均。


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