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PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之四

PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之四--表面特性:


1)高平整度与光滑度:

Ø 表面粗糙度(Ra)需<0.1μm,避免凹凸影响胶层均匀性,导致切割深度不均。


2)抗静电性能:

Ø 需通过添加抗静电剂或涂层(如碳纳米管)防止静电吸附粉尘,避免污染芯片。


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