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PO基膜在晶圆划切/切割胶带的作用之三-热性能:
(1)耐温性:
Ø 切割可能产生局部高温(80-120℃),PO基膜需保持尺寸稳定,避免软化变形。
Ø 若为热释放胶带,基膜需耐受150-200℃的短暂高温而不分解。
(2)低热收缩率:
Ø 高温环境下(如UV固化或烘烤),热收缩率需<0.5%,防止胶带收缩导致芯片错位。