新闻资讯
晶圆研磨/减薄胶带PO基膜的关键性能-洁净度与纯度
（1）无污染：
基膜生产需在无尘环境中进行，避免杂质（如金属离子、灰尘）影响晶圆良率。
（2）低析出物：
高温或UV照射时，基膜不应析出低分子量物质污染晶圆。
