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晶圆研磨/减薄胶带PO基膜的关键性能-功能性需求
(1)UV透光性(针对UV胶带):
PO基膜需允许紫外线穿透(如波长365nm),以触发胶层的光化学反应实现粘性失效。
(2)与工艺兼容性:
需适应后续步骤(如切割、清洗、临时键合等),例如在切割胶带应用中需兼顾柔韧性和刚性。