UV减粘机制与PO基膜的角色

PO 基膜在晶圆切割胶带中通常与 UV 减粘胶层(UV-reducible adhesive)配合使用,构成"PO 基膜 + UV 减粘胶 + 离型膜"三层结构。其核心工作流程如下:

  • 贴覆阶段:去掉离型膜,将 UV 减粘胶面贴合至晶圆背面,初始剥离强度通常在 800–1500 gf/25mm,提供足够锚定力

  • 切割阶段:金刚石刀片沿划片道切割晶圆,PO 基膜的高拉伸强度防止胶带在刀片冲击下撕裂或过度拉伸

  • UV 照射阶段:通过 PO 基膜照射 365 nm 紫外光,胶层中光引发剂触发自由基聚合,交联密度急剧上升,胶层收缩变硬,剥离强度降至 0.1 gf/25mm 以下

  • Pick-up 阶段:顶针从 PO 基膜侧顶起芯片,吸嘴拾取分离——因胶层已失粘,芯片可实现零残留剥离

PO 基膜在此过程中的关键贡献在于:其高于 90%的 UV 透过率保证了光固化效率;其优异的柔性使得顶针 Pick-up 过程不损伤芯片;其化学惰性确保不与胶层及切削液发生不良反应。

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