晶圆切割(Wafer Dicing),又称划片,是半导体后道封装的第一步。其核心目标是将已经完成前端制程和背面减薄的晶圆,沿着预先设计的切割道(Scribe Line)分割成一个个独立的裸芯片。现代晶圆切割方式多种多样:最为传统和普及的是刀片切割(Blade Dicing),利用高速旋转的金刚石刀片沿切割道进行机械切割,适用于 100 微米以上厚度的晶圆;对于100 微米以下的超薄晶圆,激光切割(Laser Dicing)和激光隐形切割(Stealth Dicing)正在快速普及,后者先用激光在晶圆内部形成改性层,再通过拉伸胶带使芯片沿改性层自然分离,具有无硅碎屑、切口极窄的优点;此外,等离子切割(Plasma Dicing)作为新兴技术,利用等离子蚀刻一次性完成整片晶圆的切割,对晶圆表面损伤极小。
无论采用哪种切割方式,切割胶带都是贯穿始终的关键辅材。