PO基膜在激光切割中的应用特点

激光切割——包括全激光切割(Full Laser Cut)和激光隐形切割(Stealth Dicing)——正在半导体切割领域快速普及,这对胶带基膜材料提出了一些全新的要求。首先是对激光波长的透过性:在激光隐形切割中,红外激光需要穿透胶带基材聚焦到晶圆内部形成改性层,因此PO 基膜必须对 1064nm 或 1342nm 波长具有高透光率,不能吸收太多激光能量而发热变形。其次是对激光热影响区的耐受性:全激光切割时,高能量激光束在切割封装体材料的同时也会对下方的胶带基膜产生热冲击,如果基膜的耐热性不足,胶带会发生局部熔融、收缩甚至烧穿,导致切割失败。

PO 基膜的熔点通常在 120 至 160℃之间,通过共聚改性可以进一步提升至 170℃以上,以适应更高功率的激光加工。第三是低烟低毒释放:激光切割有机材料不可避免地会产生烟雾和裂解产物,PO 基膜以碳氢骨架为主,其裂解产物毒性远低于含氯的 PVC 基膜,这对操作人员的职业健康和环保合规都具有重要意义。第四是激光切割后的扩张适配性:激光切割道的宽度(Kerf)通常比机械刀片切割窄得多(几十微米对百微米级),这对扩张后芯片间距控制提出了更高精度要求,需要 PO 基膜具有更低的热收缩率和更高的扩张均匀性。


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