什么是晶圆切割胶带?

晶圆切割胶带(Dicing Tape,又称划片膜或切割膜)是半导体后道封装工序中的核心耗材之一。在晶圆完成前端电路制造并经过背面研磨减薄后,整片晶圆上集成了成百上千个独立芯片(Die),需要通过切割(划片)工艺将它们逐一分离。切割胶带正是在这道工序中贴附在晶圆背面,将晶圆固定在金属框架上,确保在高速旋转的金刚石刀片或激光切割过程中,每个芯片都能保持位置稳定、不崩边、不飞散。

切割完成后,胶带还需在后续的取晶(Pick-up)环节中便于芯片剥离。按照粘性释放机理,切割胶带主要分为 UV 减粘型胶带(UV 膜)和常规粘性型胶带(蓝膜)两大类。可以毫不夸张地说,没有切割胶带这道"隐形工序",现代半导体的大规模生产将无从谈起。


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