欢迎进入艾米新材官方网站!

晶圆DBG胶带是什么?

晶圆DBG胶带(又称 BGT - Backside Grinding Tape,背面研磨胶带)是半导体制造中的关键材料。

晶圆DBG胶带的核心用途是:

在 DBG 工艺(切单先研磨)中:

  1. 先在晶圆正面切割道开槽;

  2. 贴上保护胶带,保护正面电路;

  3. 研磨晶圆背面至目标厚度;

  4. 最后通过 UV 照射轻松剥离。

晶圆DBG胶带关键特性:
  • 低污染 - 无残留、不污染晶圆

  • 高粘附 + 易剥离 - 晶圆研磨时牢固,UV 照后轻松撕下

  • 适应薄型化 - 支持 50μm 以下的超薄晶圆


分享到: