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晶圆DBG胶带(又称 BGT - Backside Grinding Tape,背面研磨胶带)是半导体制造中的关键材料。
晶圆DBG胶带的核心用途是:
在 DBG 工艺(切单先研磨)中:
先在晶圆正面切割道开槽;
贴上保护胶带,保护正面电路;
研磨晶圆背面至目标厚度;
最后通过 UV 照射轻松剥离。
低污染 - 无残留、不污染晶圆
高粘附 + 易剥离 - 晶圆研磨时牢固,UV 照后轻松撕下
适应薄型化 - 支持 50μm 以下的超薄晶圆