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PO基膜与晶圆DBG胶带的“固定与防护”

在晶圆DBG(Dicing Back Grind)胶带中,PO基膜(Polyolefin Film)发挥着至关重要的作用,主要用于确保晶圆背面在高强度研磨过程中的绝对安全。凭借其卓越的柔软性和张力,PO基膜能够紧密贴合并牢牢固定住晶圆背面,确保晶圆在研磨过程中保持在一个平稳、受控的状态。

在高速运转的研磨盘作用下,晶圆背面会受到剧烈的振动和冲击力。此时,PO基膜充当了“减震器”的角色,有效吸收并分散这些高频冲击,防止晶圆因受力不均而产生细微裂纹、微裂纹扩展,甚至是严重的断裂或破碎。

此外,研磨过程通常伴随着高温产生。PO基膜独特的低热膨胀系数特性,使其能够在高温环境下保持尺寸的稳定性,避免因热胀冷缩导致的胶带尺寸变化或晶圆位置偏移,从而进一步降低废品率。

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