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在晶圆切割的激光隐形切割技术中,PO基膜以其卓越的柔软性和极致的高平整度,成为防止切割碎屑侵扰的首选材料。其柔软的特性能够有效缓冲激光切割时产生的高能冲击,形成一层“保护屏障”,将高速飞溅的碎屑捕捉于膜层内,防止其飞溅到芯片表面。
这种特性对光学器件或MEMS芯片尤为关键,因为这些器件对表面洁净度和结构完整性有极高的要求。PO基膜的应用,确保了切割过程中的极致洁净,避免了因碎屑导致的器件失效或性能下降,极大地提升了芯片的成品率和可靠性。