晶圆划切切割胶带PO基膜的表面特性有什么（二）

一、热稳定性与热收缩率

特性：在低温、强紫外线环境下，基膜都不会脆化。

作用：1. 切割过程中冷却水可能导致温度变化，低热收缩率可避免基膜变形影响切割精度。

2. 部分工艺需加热固化胶层，基膜需保持尺寸稳定。

二、抗化学腐蚀性

特性：对切割冷却水（去离子水）、清洗溶剂（如丙酮、乙醇）具有良好耐受性。

作用：防止基膜溶胀或降解，确保切割后胶带结构完整。