晶圆探针测试有哪些相关设备？

1. 探针台（Prober）：

探针台是一种高精度的机器平台，用于承载和移动晶圆（Wafer），确保探针卡（Probe Card）上的探针与晶圆上的每个裸片（Die）精确接触。

其主要功能包括：

• 自动上下片：将晶圆放置在测试位置。

• 找中心：定位晶圆的中心点。

• 对准和定位：确保探针与裸片的精确对接。

• 移动：按照设定的步距移动晶圆，以逐一测试每个裸片。

探针台的精度要求极高，通常需要纳米级的定位精度，以确保测试的准确性。

2. 探针卡（Probe Card）：

探针卡是根据每颗芯片的电路和测试要求定制的测试板，用于实现自动测试设备（ATE）与芯片引脚（Pad）的电气连接。