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晶圆探针测试的基本流程

CP测试(Chip Probing),主要用于在晶圆级别对芯片进行电气性能和功能测试。其基本流程包括:

1.晶圆装载:

  • 将完成制造的晶圆(Wafer)放置在探针台(Prober)上,确保晶圆稳定且与测试设备对接。

2.探针接触:

  • 使用探针卡(Probe Card)将测试设备与晶圆上的每个裸片(Die)连接。

  • 探针通过微小的针脚与晶圆上的焊盘(Pad)接触,建立电气连接。

3. 执行测试:

  • 在测试设备的控制下,对每个裸片进行预定的电气性能和功能测试。

  • 测试内容通常包括电压、电流、时序和功能验证等。

4. 数据分析:

  • 收集测试结果,分析每个裸片的性能数据。

  • 识别出不符合设计规范的芯片,为后续的筛选和处理提供依据。

5. 标记和记录:

  • 对测试结果进行标记,通常使用激光标记或其他方式在晶圆上标注不合格芯片的位置。

  • 记录测试数据和标记信息,以备后续追踪和分析。

通过上述流程,CP测试能够有效筛选出不合格芯片,降低封装成本,提高生产良率。

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