什么是切割道?

晶圆预留空白区域的实际作用切割道,英文叫Scribe Line,也叫 Dicing Street、切割通道或划片槽。它是晶圆上相邻芯片之间预留的狭窄间隙区域,本质上是 “没有有效电路的牺牲带”。

切割道在半导体制造中承担着三个不可替代的角色:

一,切割导航线。 切割道为刀片或激光提供了明确的行走路径。划片机的视觉系统识别切割道两侧的边界,计算出中心线,然后引导主轴沿着这条线走。没有切割道,刀片就不知道往哪儿下刀。

二,应力缓冲带。砂轮刀片以数万转每分钟高速旋转接触晶圆时,会产生机械应力和热应力。切割道就是用来“挨刀” 的区域 —— 这些应力被局限在切割道内,不会传递到芯片的有效区域。简单说,切割道替芯片扛下了所有损伤。

三,工艺检测区。 切割道内部集成了大量测试结构和对准标记,用于监控晶圆制造全流程的工艺稳定性。

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