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高效研磨胶带中PO基膜的作用

研磨胶带的核心原料包括三大部分:

  1. 弹性树脂基体:提供胶带的柔韧性和弹性,常用聚氨酯、聚乙烯弹性体等材料。

  2. 多功能粘结剂:由丙烯酸酯类化合物、引发剂、韧性改进剂、粘性改性剂、硅烷偶联剂等配方组成,负责将磨粒牢固粘附在基体表面,同时调节胶带的粘度和韧性。

  3. 磨粒:如氧化铝、碳化硅等硬质颗粒,直接承担晶圆研磨的切削作用。

而PO基膜是研磨胶带的“背衬基材”,它承担结构支撑、应力缓冲、化学防护和热稳定等多重功能,使得弹性树脂基体、粘结剂和磨粒能够在一个平整、洁净且可靠的基面上工作,从而实现高效、均匀的晶圆研磨。

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