PO基膜在晶圆研磨/减薄胶带中的关键作用

在晶圆研磨/减薄胶带中，PO基膜能够提供高强度支撑，在研磨过程承受拉伸和撕裂应力，防止胶带断裂或变形。其聚烯烃材料本身化学惰性极佳，对酸碱、溶剂及常用半导体工艺化学品无腐蚀，确保胶带在高温研磨或UV固化阶段性能不衰减，避免金属离子、灰尘等杂质进入晶圆表面，从而提升切削精度和良率。

此外，PO基膜具备低热膨胀系数和极低的热收缩率（<0.3%），在80‑120℃甚至150℃的工作温度下尺寸保持稳定，防止热应力导致晶圆翘曲或应力裂纹。其高透光率和表面平整度保证UV减粘胶层均匀固化，同时在高温研磨中不产生残留物，进一步降低缺陷率。

因此，PO基膜成为晶圆研磨/减薄胶带实现高精度、低缺陷加工的关键材料。