晶圆划片完整工艺流程

流程总结:每一步的核心目的把这六个步骤串起来,每一步的目标其实很清晰:

  1. 贴膜:用一张胶带把整片晶圆固定住,让它在切割时不会散架,切完后每颗芯片还在原位不乱跑

  2. CCD 对位:让机器看清楚晶圆上的切割道在哪,保证刀片走的每一步都精确无误

  3. 高速刀片切割:沿着切割道把硅材料切开,把一整片晶圆切成一颗一颗的独立芯片

  4. 清洗:把切出来的硅粉冲干净,不让碎屑影响后续工序

  5. 扩片(含UV 解胶):先降低胶带黏性,再把间距撑大,给自动化设备腾出取芯片的空间

  6. 外观检测:确认划片没有切出缺陷,良品才能流到下工序。

贴膜保命、对位保准、切割保分、清洗保洁、扩片保序、检测保质—— 六个步骤环环相扣,少了哪一步这条产线都转不起来。

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