晶圆切割胶带的使用流程

晶圆切割胶带在生产线上的完整使用流程包括五个关键步骤。第一步是贴膜(Mounting/Taping):在洁净室环境中,将经过背面研磨减薄的晶圆通过专用贴膜机将切割

胶带均匀地贴附在晶圆背面,同时将胶带外沿绷紧固定在金属框架(Wafer Ring)上。这一步需要精确控制贴膜压力、速度和温度,避免产生气泡和褶皱。

第二步是切割(Dicing):将固定好晶圆的框架安装到划片机上,根据预先编程的切割道路径,使用金刚石刀片或激光沿切割道将晶圆完全切透。切割过程中持续喷洒去离子水进行冷却和排屑。

第三步是 UV 照射(针对 UV 膜):将切割完成的晶圆(含框架)送入 UV 照射设备,以特定波长和强度的紫外光照射胶带面,使胶层粘性大幅降低。

第四步是扩张(Expanding):将胶带在专用的扩张机上进行机械拉伸,将芯片间距均匀拉大,便于后续的视觉识别和取晶。第五步是取晶(Pick-up):在贴片机(Die Bonder)上,顶针从胶带下方将单颗芯片顶起,吸嘴从上方吸取芯片并贴装到基板或引线框架上。整个流程对操作环境、设备精度和工艺参数的一致性要求极高。

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