评估晶圆切割胶带品质好坏,需要关注以下几项核心性能指标。第一是粘着力(PeelAdhesion),通常以 180 度剥离强度来衡量,单位为 mN/20mm 或 N/25mm。对于 UV 膜还需分别测量 UV 照射前后的粘着力,照射后的残余粘着力越低,取晶越容易。
第二是扩张性(Elongation/Expansion),切割完成后通常需要通过机械扩张装置将胶带向外拉伸,使芯片间距由几十微米扩大至数百微米,方便后续的视觉识别和取晶操作。胶带需要在径向和纬向均具有均匀且足够的延展率,通常在 200%至 500%之间。
第三是残胶率,即取晶后芯片背面是否有胶粘剂残留,这是衡量胶带洁净度的关键指标。
第四是掉屑性,刀片切割时刃尖会切入胶带基材,如果基材易掉屑,碎屑可能污染芯片或切割设备。
第五是抗静电性,高端的切割胶带会进行防静电处理,防止取晶过程中静电放电(ESD)损坏敏感芯片。此外,胶带总厚度、厚度均匀性、透光率、耐化学品性等也是影响使用效果的重要参数。