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PO基膜在半导体制造中起着什么作用?

在半导体制造过程中,PO基膜是各类功能性胶带的核心载体材料,主要承担以下关键作用:

应用场景核心功能关键要求
晶圆研磨保护防止研磨液浸入晶圆正面,保护电路结构高粘附性、易剥离、无残留
晶圆固定切割固定晶圆位置,防止切割时芯片位移或飞 散
UV前高粘、UV后低粘、厚度均匀
芯片封装切割固定封装体,确保切割精度耐高温、抗化学腐蚀;
LED/滤光片切割保护精密光学元件
低残留、高洁净度

关键价值: PO基膜的性能直接决定了半导体胶带的可靠性,进而影响芯片制造的良率和成品质量。

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