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PO基膜在高效研磨胶带的关键作用之三

在高效研磨胶带中,磨粒层通过粘结剂层固定在 PO 基膜上,而PO 基膜的高弹性与耐温特性能够保证磨粒在高负荷研磨时不产生局部应力集中,提升研磨均匀性和晶圆表面质量。

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