晶圆制造完成后,芯片会按标准矩阵均匀排布,芯片之间预留出空白通道,行业称为切割道,也叫Street。划片设备会驱动高速旋转的超薄刀片,沿着预设切割道走刀,切断硅基材,将整片晶圆拆分为一颗颗独立裸片。
打个通俗比方:晶圆如同划分好格子的蛋糕,划片不会切割承载电路的芯片区域,只沿着格子缝隙分割,把整块晶圆拆分成独立小块。
目前量产主流工艺为刀片切割(Blade Dicing):刀片由金刚石磨粒搭配树脂 / 金属结合剂制成,厚度仅 20~40μm,主轴转速区间 30000~60000RPM,依靠高速磨削硅材料完成分割。很多新人会产生误区:划片刀不是整块实心金刚石,仅表层固结微米级金刚石颗粒负责磨削。
针对100μm 以下超薄硅片、SiC、蓝宝石等特殊材质,激光切割的应用场景持续拓宽,其中隐形切割(Stealth Dicing)优势突出:激光聚焦至晶圆内部形成改质分层,后续依靠 UV 蓝膜拉伸张力完成芯片分离,硅粉碎屑极少,切缝宽度更小,背面崩边风险远低于刀轮切割。