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晶圆切割胶带PO基膜的光学性能是什么?(一)

晶圆切割胶带PO基膜的光学性能至关重要,因为它直接影响到切割过程的视觉识别精度和工艺控制。

1. 高透明度与低雾度

目的:为了实现高精度的视觉对位。在切割前,需要用光学识别系统透过胶带和基膜,清晰地识别晶圆表面的对准标记(Alignment Mark) 和切割道(Scribe Line)。

要求:基膜必须具有极高的透光率和极低的雾度,以确保图像不失真、不模糊,保证切割路径的精准定位。

2. 颜色与背景对比度

目的:增强机器视觉的识别对比度。

常见设计:透明无色:最通用,适用于大多数晶圆。

浅蓝色或其他淡色:特意染成浅色,与晶圆(通常是灰色或银白色)或芯片形成适度的颜色对比,便于视觉系统更轻松、稳定地识别图案和边缘。颜色必须均匀且稳定,不能有杂色或斑点。


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